基本结构和新概念设计

　　这种精密加工机是在原来同时控制3轴立式加工中心的基础上，按照新概念进行设计的产品。作为一种采用先进纳米加工技术的设备，不仅可以实施小范围的微细加工，还能在几百mm的空间实施纳米级加工。

　　这种精密加工机基本结构是在主框架周围设置了有源的防振系统，在加工部位设有非接触式重力补偿系统和空气静压主轴系统，以及驱动工作台垂直移动的Z轴系统和XY平面定位系统。所谓的新概念设计，则主要体现在以下几方面:

　　1.按照对称和低重心要求的设计，可以保证机床的力学和热性能都非常稳定。

　　2.对可动部分实施消除非线性现象的非接触式设计，使整个系统实现了线性化。

　　3.选用重量轻、刚性好和热膨胀系数很小的材料，不仅可以使可动部件的惯性很小和刚性很好，且受热的影响也很小。

　　4.设计了以底座为基准的阿贝式测量系统，并采用与机架相分离的结构。

　　5.控制系统按照结构简洁和运作灵活的要求进行设计。